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溅射的方法非常多其中包括
来源: 集成电路制造工艺员
发布时间:2017-02-19
题目从电极的结构看溅射的方法包括请注意与下面集成电路制造工艺员题目有着相似或相关知识点, 是指每个入射离子溅射出的靶原子数; 对于浓度覆盖很宽的杂质原子可以采用方法引入到硅片中。
溅射的方法非常多其中包括
学习时建议同时掌以下几题,方法是大规模集成电路生产中用来沉积不同金属的应用最为广泛的技术。
一般来说溅射镀膜的过程包括这几步。
主要是以化学反应方式来进行薄膜沉积的。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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