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沾污引起的电学缺陷引起硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本
来源: 集成电路制造工艺员
发布时间:2017-02-19
题目沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片的不希望有的物质请注意与下面集成电路制造工艺员题目有着相似或相关知识点, 净化室将硅片制造设备与外部环境隔离免受诸如的沾污; 解决氧化层中的钠离子沾污的方法有。
沾污引起的电学缺陷引起硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本
学习时建议同时掌以下几题,静电释放带来的问题有哪些。
在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时需要将硅片先装入然后再装入扩散炉。
大硅片上生长的的不均匀和各个部位刻蚀速率的不均匀会导致刻蚀图形转移的不均匀性。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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