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离子从进入靶起到停止点所通过的总路程称作
来源: 集成电路制造工艺员
发布时间:2017-02-19
题目对于非晶靶离子注入的射程分布取决于请注意与下面集成电路制造工艺员题目有着相似或相关知识点, 一般来说溅射镀膜的过程包括这几步; 是指每个入射离子溅射出的靶原子数。
离子从进入靶起到停止点所通过的总路程称作
学习时建议同时掌以下几题,损伤的分布与注入离子在在靶内的的分布密切相关。
下列哪些因素会影响临界注入量的大小。
为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染可在靶室前增加一个或采用无油泵。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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