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多层金属化指用来连接硅片上高密度堆积器件的那些金属层
来源: 集成电路技术
发布时间:2017-02-18
题目关键层是指那些线条宽度被刻蚀为器件特征尺寸的金属层请注意与下面集成电路技术题目有着相似或相关知识点, 接触是指硅芯片内的器件与第一层金属层之间在硅表面的连接; 阐述铜金属化面临的三大问题如何解决这些问题。
多层金属化指用来连接硅片上高密度堆积器件的那些金属层
学习时建议同时掌以下几题,在半导体制造业中最早的互连金属是在硅片制造业中最普通的互连金属是即将取代它的金属材料是。
制造电子器件的基本半导体材料是圆形单晶薄片称为硅片或在硅片制造厂由硅片生产的半导体产品又被称为或。
随着铜布线中大马士革工艺的引入金属化工艺变成刻蚀以形成一个凹槽然后淀积来覆盖其上的图形再利用把铜平坦。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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